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Slurry 供液系统

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声达半导体设备(江苏)有限公司

江苏

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面议

品牌:

江苏声达

型号:

Slurry 供液系统

关注度:

36

产品介绍

适用工件(Applicable parts)抛光液/Chemist,Polishing
批量产能:(Capacity)10L/min
工艺流程:
(Procedure flow)
混液→供液→ 回收→供液
Mixing→Supplying→Recycling→Supplying
主要材料:
(Major material)
金属骨架+PP壳板,泵体采用PVDF气动隔膜泵,管路
采用PFA管路-Metal frame+PP shell plate,PVDF pneumatic pump,PFA pipe routine
其他说明:(Others)PH平衡、恒温控制-PH equilibrium,thermostatical control


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