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8/12寸石英管(硅片加热)清洗机
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声达半导体设备（江苏）有限公司
江苏
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江苏声达
8/12寸石英管(硅片加热)清洗机
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| 适用工件： (Applicable parts) | 1-1.7米，8寸，12寸石英管(用于硅片加热)兼容和石英部件 1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts |
| 批量产能： (Capacity) | 根据客户需求/Customerized |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 人工上料→炉管旋转，药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料 Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
| 运送方式： (Transportation) | 手动传送 (Manual) |
| 节拍时间： (Step time) | 依工艺可调 (Based on process,Adjustable) |
| 工艺效果： (Process effect) | 清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他说明： | 设备可以根据客户要求定制手动/半自动 (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 适用工件： (Applicable parts) | 1-1.7米，8寸，12寸石英管(用于硅片加热)兼容和石英部件 1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts |
| 批量产能： (Capacity) | 根据客户需求/Customerized |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 人工上料→炉管旋转，药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料 Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
| 运送方式： (Transportation) | 手动传送 (Manual) |
| 节拍时间： (Step time) | 依工艺可调 (Based on process,Adjustable) |
| 工艺效果： (Process effect) | 清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他说明： | 设备可以根据客户要求定制手动/半自动 (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 适用工件： (Applicable parts) | 1-1.7米，8寸，12寸石英管(用于硅片加热)兼容和石英部件 1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts |
| 批量产能： (Capacity) | 根据客户需求/Customerized |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 人工上料→炉管旋转，药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料 Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF (Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF) |
| 运送方式： (Transportation) | 手动传送 (Manual) |
| 节拍时间： (Step time) | 依工艺可调 (Based on process,Adjustable) |
| 工艺效果： (Process effect) | 清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube) |
| 其他说明： | 设备可以根据客户要求定制手动/半自动 (Customized:Semiautomatic or manual) |
