高频等离子表面处理装置

■ 操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-500W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。

● 一体成型铝制腔体，腔体材质结实可靠而且无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护

● 标准装备自我诊断功能，可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

■ 产品优势

●DP和RIE模式标准配备即可利用等离子的化学性质又可以有效利用

其物理性质，工艺应用范围更加广泛。。

●原则上所有材质的样品都可以进行清洗，对清洗样品材质没有要求。

●液晶触摸屏控制，操作简单方便。

●标准配备产生等离子均匀性很好的平行平板电极。

●标准装备多种安全功能，安全措施绵密。

■用途

●CSP\BGA\COB基板等离子清洗

●去除有机膜和金属氧化膜

●印刷电路基板的干式清洗

●材料表面活化处理

●LDE封装

■构成图

■规格