简介

先进，实用的单层和多层镀膜速率控制

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3

装备有ModeLock¹**技术，提供验证的模式跳跃防止功能，可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3薄膜镀层控制仪，可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度， 具有能控制几乎任何膜层数量的能力，容易安装，和极高的可靠性，可确保高的生产率.

■ 有单膜层和多膜层型号

■ ModeLock**技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差

■ 支持INFICON Crystal 12^™， CrystalSix^®和双传感器自动晶体切换，用于**生产率

■ XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程， 999个膜层， 32个镀层， 2个传感器和两个源

■ XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层， 2个传感器和两个源

■ 易阅读的TFT LCD图形显示器

■ 为便于检索，可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称

■ 有以太网连接件

■ 单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows^®软件选件

■ INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)