技术参数

Excel 661UM

Excel 661UC

测量范围

650×680×150mm

仪器外观尺寸

1311×1604×1608mm

净重

1530kg

容量

100kg

床台材料

花岗岩

途径

独特的X和Y单轨，单轨线性的z

电源要求

93-264VAC， 47-63Hz， 10Amp max.

X，Y轴精度

U=2.8+L/200μm

Z轴精度

U=2.8+L/100μm

X，Y轴加速度

1000mm/s2

Z轴加速度

500mm/s2

X，Y 速度

150mm/s2

光栅尺分辨率

0.1μm

轮廓光，同轴光，表面光

红光LED技术（黑白机种使用）

白光LED技术（彩色机种使用）

光学镜头/倍率范围

12*Opucal/2.5*Digital Programmable Zoom/15x～1200x on

计算机规格

1.2GHz，256MB RAM，Windows2000，CD-RW，Ethernet Card

工作环境

20℃(680F)±20，30-81% Humidity