高压强热电离皮拉尼真空计

INFICON 公司生产的HPG 400 型高压强热电离皮拉尼真空计

将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济

的规管中，测量压强从 2×10-6 至1000 毫巴(1.5×10-6 至

750 乇)。HPG 400 提供高度的重复性和再现性压强测量，

用于精确的溅射过程的压强控制。

用户优越性

􀂠 HPG 400 节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与

设置的复杂性

􀂠 高压强热电离真空计从 1×10-5 至1 毫巴为要求高的过程

控制提供精确、可靠的压强测量

􀂠 用户可选的热电离发射在 5×10-2 至1 毫巴之间起始工作

􀂠 皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁

􀂠 高真空皮拉尼自动调整，减少操作人员的干预

􀂠 备有可选的图形显示器和现场总线接口

典型应用

􀂠 半导体制造中溅射工艺应用，电子学的媒体工业

􀂠 工业镀膜

􀂠 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制