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平坦度测量仪
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上海翱晶半导体科技有限公司
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上海翱晶
平坦度测量仪
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平坦度测量仪FT-900
测量晶片或磁盘等的翘曲、平坦度的设备
·可测量直径不超过200mm的样品。
·可对半导体晶片（硅、化合物、氧化物、玻璃）、硬盘驱动器上使用的磁盘（铝、玻璃）、
工业用金属片、任意形状的样品进行测量。
·无论样品为粗糙表面或光滑表面、透明物体或者样品上有开孔、形状不规则，都可以进行测量。
·通过相移法对激光斜入射干涉计产生的干涉条纹进行图像分析，以此实现对多种样品的数据测量。
