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FDC-320 气体质量流量控制器
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博思飞尔（上海）仪器科技有限公司
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FDC-320 气体质量流量控制器
743
FDC-300系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，**工作压力可达1500 Psi。数字型测量控制电路，抗干扰能力更强，数字通讯兼容模拟信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FDC系列已通过CE和Rohs认证，是经济型数字应用的**解决方案。
| 型号 | **满量程（N2标准） | *小满量程（N2标准） | **工作压力 |
|---|---|---|---|
| FDC-320/1 | 30 SLM | 10 SCCM | 1500 Psi / 100 Bar |
| FDC-330/1 | 100 SLM | 30 SLM | 1500 Psi / 100 Bar |
| FDC-340/1 | 200 SLM | 100 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
| FDC-350/1 | 400 SLM | 200 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
| FDC-360/1 | 1000 SLM | 400 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
| 流量精度 | ±1% F.S ； ±1.5% F.S（>100 SLM） |
| 重复性 | ±0.2% F.S |
| 控制范围 | 2%~100% F.S |
| 响应时间 | <2s |
| 温度系数 | Zero:<0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃ |
| 压力系数 | 0.2% of S.P. / Bar |
| 工作温度 | 0~50 ℃ |
| 泄漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He |
| 预热时间 | 5 min精度达到±2% F.S（30 min达到**精度） |
| 电源 | +15~24 V dc |
| **功耗 | 10W（MFC）；3W（MFM） |
| 数字通讯 | RS-485（modbus Rtu协议） |
| 模拟通讯 | 0-5V / 4-20mA |
| 电气接口 | 9Pin D-Connector（Male） |
| 阀门类型 | 常闭阀（MFM无意义） |
| 基体材质 | 316L不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶、三元乙丙橡胶、丁腈橡胶 |
| 气路接口 | 1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR |
| 型号 | A | B | C | D | H | E | F | G | M | 重量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| FDC-320/1 | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 16 | 10 | M4 | 0.6 |
| FDC-330/1 | 98.5 | 147 | 17 | 40 | 135 | 66.5 | 20 | 16 | M4 | 0.8 |
| FDC-340/1 | 98.5 | 147 | 17 | 40 | 135 | 66.5 | 20 | 16 | M4 | 1.0 |
| FDC-350/1 | 132 | 208 | 22 | 50 | 150 | 96.5 | 30 | 16 | M4 | 1.5 |
| FDC-360/1 | 185 | 260 | 37 | 85 | 170 | 170 | 30 | 7.5 | M4 | 2.5 |
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