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美国SVT MBE样品台/样品加热台/Manipulator

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814

产品介绍

生长操作器和制备台UHV 兼容。尺寸包括1’’8’’。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境。

磁耦合旋转

旋转精度高

氧环境下兼容可选

氨环境下兼容可选

衬底加热温度可达1,400 oC

X-Y方向移动

精度0.001

重复性0.001

反冲 0

移动行程+/-0.5’’

Z方向移动

精度1mm 或1/32比例

重复性1mm 或1/32比例

反冲0

行程4.0’’

水平旋转

精度1.25o

反冲<1 o

持续360 o旋转

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