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生产型分子束外延设备/ Production MBE

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产品介绍

美国SVT生产型MBE

SVT 拥有20年MBE设备制造与革新的经验。

MBE是半导体材料和器件生长的主要研究制造技术。

SVT 的MBE设备提供超高真空环境,可以精确制备各种薄膜结构,包括超高k电解质,光电子器件,高能通讯器件,以及其他应用器件。

SVT正不断提高MBE系统的性能,并为客户开放新材料提供更大便利。

35V14 MBE是生产型的MBE系统,并可以加工超大尺寸样品。

此系统可以加工**14''的样品,

并配有大容量的源以及RF6.0生产型Plasma源。

可用于指标氧化物、氮化物、As化物等。

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