CBr₄是很好的III-V材料的p型掺杂源。在使用MBE技术生长p型掺杂外延材料中具有很多用途。

SVT公司CBr₄模块适用于任何MBE，具有安全、操作简单等特点。CBr₄通过一个压力控制系统被输送到腔室。此压力控制系统可以控制蒸汽压流量。气体控制面板可以精确控制CBr₄气体的流量。

特点

●适用于任何MBE

●高性能的气体入射源

●先进的气体操作系统

●安全，操作简单

部件

气体入射源

●带有加热器的入射源（长度可客户定制）

●温度控制器（可放在电子控制柜中）

●双接头气体管路

气体操作系统

●外部手动可调阀门

●热漏阀和控制器

●冷阴极真空规以及控制器

可选

●气动阀门

●气动阀门控制器

●气路烘烤装置