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美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool

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779

产品介绍

集中传送室位于各真空室中心,可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块,例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室。SVT可以提高以下2种配置的集中传送室,也可以客户订制。

SVTA-CLM-6

  • **8''样品

  • 612'' CF法兰端口

  • 6'' CF观察窗

  • 2.75'' CF法兰离子规端口

SVTA-CLM-4

  • **5''样品

  • 48''CF法兰端口

  • 4.5''CF观察窗

  • 2.75''CF法兰离子规端口

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