技术参数：

温度范围

RT to 1150 °C (Max. 1200 °C )

样品尺寸

φ10 mm x 1 to 3 mm

测量气氛

真空（空气下 up to 150 °C）

可选

方形样品支架（7mm，一维测量）

多样品测量：*多3样品

基板测量附件

室温下样品径向分析（SB-1）

200℃下样品径向分析（SB-2）

多层样品分析软件（FML），符合标准：JIS H 8453

高温炉体：可更换高温炉体1500℃

样品尺寸

直径 10 mm， 厚度1 to3 mm；

基板测定：25×25×1 mm厚以下（任选部件）

分步加热法：φ30×3～5mm厚（任选部件）

薄膜：直径 18mm×100μm-50μm或更厚

激光源

Nd玻璃激光

输出功率

≥10J/pulse

脉宽调节

半峰宽（FWHM） 0.1 msec/0.3 msec 或更小

测试参数

热扩散系数、比热、热导系数

热扩散系数范围

0.01 mm2/s to 1000 mm2/s

导热系数范围

0.1 W/(m·K) to 2000 W/(m·K)

热扩散系数精度

≤±5﹪

比热容精度

≤±7﹪

水循环要求

5L/min

系统外观（宽*高）

800mm*1050/1700*1500