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热丝化学气相沉积系统(HWCVD)

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上海载德半导体技术有限公司

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面议

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721

产品介绍

技术规格:

- 单腔体或者多腔体(Cluster);

- 衬底尺寸:10cm x 10cm ~ 30cm x 30cm;

- 衬底类型:刚性(沉积时振荡),柔性(Reel - Reel);

- 灯丝类型:石墨(美国**#6214706, #6427622),传统灯丝;

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热丝化学气相沉积系统(HWCVD)

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