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磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600
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北京泰科诺科技有限公司
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北京泰科诺
磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600
205
设备型号：JCPF2600
镀膜方式：磁控溅射
真空腔室结构：SUS304 方箱式
真空腔室尺寸：L2600mmxH700mmxW260mm
极限真空：优于 5.0x10-5Pa
基片台尺寸：300mmx400mm向下兼容300mmx300mm
基片温度：常温
溅射靶：矩形平面靶1套，旋转柱状靶2套
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积：15000mmx5000mm
供电总功率：≥ 20kW 三相五线制
大面积平板镀膜设备JCPF3500
真空退火炉/钎焊炉VTHK350
真空电弧炉VDK250
多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF1200
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF600
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
高真空磁控溅射镀膜设备JCPY500
高真空磁控溅射镀膜设备JCP350
电阻蒸发镀膜设备
高真空磁控溅射镀膜设备JCP200
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