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微波等离子体火炬（MPT）
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成都华宇东升微波设备有限公司
四川
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华宇东升
微波等离子体火炬（MPT）
190
性能特点：
֍高效，可以在短时间内产生高密度等离子体 ֍可通过调节微波功率和气体流量等参数来控制等离子体的密度和温度 ֍可反复使用，不会对环境造成污染 ֍可应用于表面改性、涂层制备、清洗等 |
主要技术参数：
微波源输出功率 | 500W － 5000W |
| 工作气压 | 常压 |
| 气体介质 | 无选择 |
| 等离子炬焰 | 长300mm ，直径30mm |
| 等离子气体温度 | ＞3000℃ |
MPCVD设备培育的CVD晶种
高稳定程控微波源
微波传输系统
微波等离子体火炬（MPT）
微波等离子体源
电子回旋共振等离子体（ECR）系统
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— B型
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— A型
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