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大口径等离子刻蚀设备

surpass

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成都超迈光电

四川

产品规格型号
参考报价:

500万以上

品牌:

超迈光电

型号:

surpass

关注度:

255

产品介绍

本设备主要用于半导体刻蚀,能够兼容离子束刻蚀和反应离子刻蚀功能,使用气态化学刻蚀剂与材料产生反应来进行刻蚀,并形成可从衬底上移除的挥发性副产品,通过真空系统排出,特别适合刻蚀熔融石英、硅、光刻胶、聚酷亚胺( PI) 薄膜、金属等材料。

本设备可根据客户技术需求,定制研发生产,具体详情请电联我司。

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