硅锭尺寸

996mm×996mm×535mm

生产率

1000kg～1200kg/炉

生产周期

1000kg锭～80hr,产能～11.5MW/年

**温度

1600℃

常用工作温度

1560℃

硅锭生长速率

1.0-1.2cm/hr

炉内极限真空度

1Pa

系统漏率

<0.0075Pa. m3 /s

氩气

～160  m3 /锭

冷却水

约140L/min

控温点数量

顶部、侧面分区控温（2个控温点）

额定加热功率

200kW

每炉加热器功耗

～5000度（投料1000kg）

长晶控制辅助

气冷辅助成核装置（选配）

其他能耗

～800度

单位能耗

～5.8度/kg

铸锭良率

平均大于72%（正常配料）

转换效率

17.5%-17.7%

准单晶生产能力

具备

高效多晶生产能力

具备