硅锭尺寸

996mm×996mm×370mm

生产率

750kg～850kg/炉

生产周期

800kg锭～74hr,产能～9.5MW/年

**温度

1600℃

常用工作温度

1560℃

硅锭生长速率

1.0-1.2cm/hr

炉内极限真空度

1Pa

系统漏率

<0.0075Pa.m3/s

氩气

～140m3/锭

冷却水

约140L/min

额定加热功率

165kW

每炉加热器功耗

～4400度（投料800kg）

其他能耗

～650度

单位能耗

～6.8度/kg

铸锭良率

平均大于70%（正常配料）

转换效率

17.5%-17.7%

准单晶生产能力

具备

高效多晶生产能力

具备