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超高真空管道传输设备
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合肥致真精密设备有限公司
安徽
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致真精密
超高真空管道传输设备
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生产型磁控溅射设备是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的磁控溅射装备。MSI-200型磁控溅射设备采用多个真空腔室互联的设计，通过Cluster内置的三维机械手实现晶圆的传输，可搭配多个溅射室或处理腔室，适用于生产产线或实验线。
性能参数
晶圆尺寸 | 8吋向下兼容 |
| 极限真空 | 优于5×10-10mbar |
| 对接口 | 每节管道可连接一套系统，对接口CF250及以下。 |
| 传输装置 | 磁力传输，可同时传输多片 |
| 进样室 | 可选配独立进样室 |
| 校准装置 | 光电传感器 |
| 真空系统 | 机械泵+分子泵，可选离子泵等 |
控制系统 | PC+PLC 安全互锁，碰撞保护,真空互锁等 |
观察窗挡板
倾斜式高温样品台
蒸发源
圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）
两个镀膜系统直接互联设备
超高真空管道传输设备
晶圆真空传输平台—VTM
量产型磁控溅射设备—MSI-200
生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV
生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV
量产级多功能薄膜沉积设备
分子束外延设备—MBE-400
