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生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV
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合肥致真精密设备有限公司
安徽
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致真精密
生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV
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MSI-100-HV生产型磁控溅射设备是针对企业和高校实验室以及小试线研发的高性能、低成本和高效率的磁控溅射装备。它采用简单可靠的模块化设计，包括进样室和溅射室，可满足8inch晶圆上纳米级材料的生产制备需求，具有稳定、可靠、成本低的特点。
观察窗挡板
倾斜式高温样品台
蒸发源
圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）
两个镀膜系统直接互联设备
超高真空管道传输设备
晶圆真空传输平台—VTM
量产型磁控溅射设备—MSI-200
生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV
生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV
量产级多功能薄膜沉积设备
分子束外延设备—MBE-400
