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滚轮式紫外纳米压印设备

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苏州光舵微纳科技股份有限公司

广东

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品牌:

光舵微纳

型号:

滚轮式紫外纳米压印设备

关注度:

142

产品介绍

设备名称:滚轮式紫外纳米压印设备

型号:GD-N-03


设备性能:

兼容4,6,8英寸晶圆

全自动晶圆传送,可进行小批量生产

*低线宽小于20nm

压印深宽比至10:1

可进行斜齿光栅压印

兼容高刻蚀比压印胶压印



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