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大面积辊对板纳米压印设备
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苏州光舵微纳科技股份有限公司
广东
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光舵微纳
大面积辊对板纳米压印设备
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1.压印幅面：1020mm*1520mm
2.压印精度：*小线宽≤30nm
3.压印速度：≥1m/min
4.辊轮压力：自重+额定压力设定
5.全自动完成压印、曝光、脱模，脱模角度可设定
6. UV光源：365nm LED光源，**额定功率500mw/cm^2面光源尺寸规格：1100mm*75mm，通过光源恒定速度移动，完成曝光
7.腔体配有FFU、去静电装置，可保证良好的腔体环境
8.图形化软件界面，生产过程实时反馈数据
