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量产型纳米压印设备
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苏州光舵微纳科技股份有限公司
广东
面议
光舵微纳
149
设备性能：
12英寸晶圆及以下兼容
晶圆预清洗，匀胶，及冷热板功能
全自动晶圆传送
全自动柔性模板制作及自动压印工艺流程
*低线宽小于20nm
压印深宽比至10:1
兼容高刻蚀比压印胶压印
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