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全自动双轴晶圆切割-TS861

全自动双轴晶圆切割-TS861

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博磊精密设备(苏州)有限公司

江苏

产品规格型号
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品牌:

博磊精密

型号:

全自动双轴晶圆切割-TS861

关注度:

38

产品介绍

抑制微粒粉尘的选项

  • 切割部二流体喷嘴。

  • Spinner部二流体喷嘴。

  • 工作盘水帘来防止因微粒干燥所引起的硬化。

  • 强抽风管(主轴)。

标配功能

  • 自动刀痕校正(Auto Kerf Check)。

  • 非接触式刀高测量(NCS,Non-Contact Setup)。

  • 刀片断裂检测(Blade Broken Detector)。

  • 二流体喷嘴。

规格

单位

TS861

(1.2/1.8/2.4Kw)

**工作范围

mm

Φ200/Φ150

X-axis

Cutting range

mm

210/160

Cutting speed

mm/sec

0.1-1,000

 

Y1、Y2-axis

Cutting range

mm

210

Index step

mm

0.0001

Index positioning accuracy

mm

0.003/210

mm

0.002/5(Single error)

 

Z-axis

Max. stroke

mm

14.2(Forφ2”blade)

Moving resolution

mm

0.0000003(24bit)

Repeatability accuracy

mm

0.001

ϴ-axis

Max. rotating angle

deg

380

Spindle

Rated torque

N.m

0.27

Revolution speed range

rpm

6,000-60,000

Machine dimensions (W x D x H)

mm

1,250 x 1,600 x 1,890

Machine weight

kg

2,000



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全自动双轴晶圆切割-TS861

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博磊精密设备(苏州)有限公司

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