仪器简介：

HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

应用：

· 等离子体/反应性离子蚀刻研究

· CVD / PVD / MOCVD

· 半导体晶片加工研究

· 真空、等离子体过程

· 活性物质定量分析

· HF，HCl，HBr，CFC 研究

主要特点：

· 加热的电抛光波纹管，快速偶合连接器

· 可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析

· 高灵敏度至 5 ppb， 质量数可至2500 amu.

· 进样压力从 1 mtorr 至大气压

· 电容压力计，压力检测可不受分析物影响

· 稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )

· 软件 MASsoft 控制

· 矩阵反演，归一化及单峰参考