仪器简介：

ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是***可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）。

技术参数：

应用：

· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体

· 脉冲等离子体操作

· 离子密度 (Ni & Gi)

· 电子温度(Te)

· 电子能量分布(EEDF)

· 电子密度(Ne)

· 等离子体电位

· Debye 长度，悬浮电位

主要特点：

· 获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析

· Hiden在被动射频补偿方面处于**地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具

有**的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)

· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率

· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室

内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起)

· ESPion 是所有商业化探针中*快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有

必需的标准脉冲选通电路

· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式

线性－旋转驱动器可选

· 自清洗循环，防止探针尖端污染

· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制