仪器简介：

IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe），自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.

独有的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量**化监测.

技术参数：

应用：

• 终点检测（End Point Detection）

• 靶的纯度鉴定

• 质量控制/ SPC.

• 残余气体分析

• 泄漏监测

主要特点：

特点：

• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器

• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu

• 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室

• 离子光学器件，带能量分析器和内置离子源

• Penning规和互锁装置，以提供过压保护

• 数据系统与过程控制工具整合

• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)

• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制

• 程控DDE， 平行数字式I/O， RS232通讯