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真空气相沉积炉

HVCVD

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上海哈腾电炉设备有限公司

上海

产品规格型号
参考报价:

面议

型号:

HVCVD

关注度:

2741

范围(量程或细度):

--

应用行业:

本设备主要用于碳素制品的化学气相沉积增密处理,或以碳氢气体为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理及碳毡制品真空碳化其热处理。

产品介绍


  1. 设备用途

        本设备主要用于碳素制品的化学气相沉积增密处理,或以碳氢气体为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理及碳毡制品真空碳化其热处理。


   

  1. 设备特点

        1. 双层SUS304炉体结构,中间通以冷却水,有效降低炉体表面温度,减少高温伤害,降低对环境的影响;
        2. 采用先进的保温材料及隔热结构,导热系数低,保温效果好,即使在很高的温度下也能有效隔绝热量,节约能耗;
        3. 能够准确控制气体流量和压力,通过特殊的导气结构和装置,大大提高产品的合格率,降低沉积时间;
        4. 通过特殊的过滤装置,使其热解过程的碳粉几乎完全过滤,不进入真空机组,大大延长了真空机组的使用寿命;
        5. 人性化配置,既可以手动操作,也可以实现一键智能操作;
        6. 型式多样化,立式上开门、立式底升式、卧式侧开门,任意选择;
        7. 本产品接受非标定制。


   

  1. 设备参数

型号

工作区尺寸
         D×H

**温度
         ℃

温度均匀性
         ℃

冷态极限真空度
         Pa

压升率
         Pa/h

加热功率
         Kw

HVCVD-2030

Φ200×300

1500

±5

50

3

25

HVCVD-2540

Φ250×400

1500

±5

50

3

40

HVCVD-3050

Φ300×500

1500

±5

50

3

55

注:以上技术参数可根据工艺进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。


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上海哈腾电炉设备有限公司

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