真空炉-高真空炉-上海哈腾电炉设备有限公司-产品详情

高真空炉

CVD/CVI/PECVD

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上海哈腾电炉设备有限公司

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型号：

CVD/CVI/PECVD

关注度：

3047

范围（量程或细度）：

产品介绍

设备特点

        1. 高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，**真空可达10-4Pa；
        2. 可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；
        3. 数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
        4. 每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；
        5. 采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
        6. 管路采用世界**Swagelok卡套连接，不漏气；
        7. 超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠；
        8. PECVD借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，更容易发生反应。

设备参数

类别	加热炉					射频电源	真空系统	混气系统	压强控制系统	尾气处理系统
类别	温度	加热区	型式	管径	长度	射频电源	真空系统	混气系统	压强控制系统	尾气处理系统
CVD	1200～ 1700℃	220～ 440mm	卧式、滑动式	Φ60～ Φ100	600～ 1600	无	10Pa 1Pa 5*10-3Pa （可选）	MFC单路或多路控制	可选	过滤燃烧冷凝中和反应（可选）
CVI	1200～ 1700℃	220～ 440mm	立式、滑动式	Φ60～ Φ100	600～ 1600	无
PECVD	1200℃	220～ 440mm	卧式、滑动式	Φ60～ Φ100	1200～ 1600	300～ 500W