真空炉-8英寸「单片式硅外延生长炉』-浙江晶盛机电股份有限公司-产品详情

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8英寸「单片式硅外延生长炉』

外延生长炉

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外延生长炉

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产品介绍

晶盛机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉，可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长，结构可靠稳定，有较好的膜厚和电阻均匀性

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