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概述
EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,采用成熟的轴承技术,上轴承为**性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并采用Holweck拖曳分级技术,可以DC 24V直接驱动,或使用TAG和 TIC控制器,可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。
基本的分子泵系统通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
智能控制,功耗低,减少运行成本
与Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容,可以添加1~3真空规而无需额外真空控制器,可以连接冷却风扇和自动放气阀
并行或串行接口:并行模式允许使用传统控制模式;串行模式提供RS232接口,可以全面控制分子泵状态,并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温度
入口配有筛网
上轴承为**性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低
配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)
Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差
带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
技术指标
入口法兰 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K | |||||
出口法兰 | KF16 | |||||
抽 速 | ISO63/63CF | DN40NW | ISO100 | |||
N2 | 61l/s | 42l/s | 66l/s | |||
He | 57l/s | 49l/s | 59l/s | |||
H2 | 53l/s | 48l/s | 54l/s | |||
压 缩 比 | N2 | >1×1011 | ||||
He | 1×106 | |||||
H2 | 5×104 | |||||
极限 真空 | RV泵,ISO/CF | <5×10-9/<5×10-10 mbar | ||||
隔膜泵,ISO/CF | <5×10-8/<5×10-9 mbar | |||||
推荐前级泵* | RV5/nXDS6i | |||||
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |||||
**连续入口压力(轻质气体)? | ||||||
水冷(水温15°C,环境温度40°C) | 2×10-2 mbar | |||||
空冷(环境温度35°C) | 1×10-2 mbar | |||||
泵转速 | ||||||
标称转速 | 90000rpm | |||||
待机转速 | 49500~90000rpm可调 (缺省63000 rpm) | |||||
功率范围 | 50~120W可调 (缺省80W) | |||||
90%转速启动时间 | 110s? | |||||
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 | |||||
冷却方式# | 空冷/水冷 | |||||
空冷环境温度 | 5~35°C | |||||
*小水冷流速 (15°C的水) | 15l/ h | |||||
水温范围 | 10~20°C | |||||
入口法兰**温度 | 100°C | |||||
工作姿态 | 垂直、水平 | |||||
噪声(1m处) | <50dB(A) | |||||
**耐受磁场 | 5mT | |||||
推荐控制器 | TIC100涡轮仪表控制器 | |||||
稳态功耗 | 10W |
*根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1。
? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。
? 功率为80 W。
#空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号 | 描述 |
B72241000 | EXT75DX分子泵:DN63ISO-K入口法兰 |
B72242000 | EXT75DX分子泵:DN63CF入口法兰 |
B72243000 | EXT75DX分子泵:DN40NW入口法兰 |
B72245000 | EXT75DX分子泵:DN100 ISOK入口法兰 |
B72246000 | EXT75DX分子泵:DN100 ISOK入口法兰(DN25NW前级泵接口) |
B72235000 | EXT75iDX分子泵:DN40NW入口法兰 |
B72237000 | EXT75iDX分子泵:DN63ISO-K入口法兰 |
B72238000 | EXT75iDX分子泵:DN63ISO-K入口法兰(DN25NW前级泵接口) |