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Edwards EXT75DX涡轮分子泵

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产品介绍

概述

EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,采用成熟的轴承技术,上轴承为**性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并采用Holweck拖曳分级技术,可以DC 24V直接驱动,或使用TAG TIC控制器,可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NWISO63DN63CF ISO100可选。

基本的分子泵系统通常由EXT75DX泵、TAGTIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

性能特点

  • 智能控制,功耗低,减少运行成本

  • Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容,可以添加1~3真空规而无需额外真空控制器,可以连接冷却风扇和自动放气阀

  • 并行或串行接口:并行模式允许使用传统控制模式;串行模式提供RS232接口,可以全面控制分子泵状态,并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温度

  • 入口配有筛网

  • 上轴承为**性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低

  • 配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)

  • Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差

  • 带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承

技术指标

入口法兰

DN63ISO-KDN63CFDN40NWDN100ISO-K

出口法兰

KF16

ISO63/63CF

DN40NW

ISO100

N2

61l/s

42l/s

66l/s

He

57l/s

49l/s

59l/s

H2

53l/s

48l/s

54l/s

N2

>1×1011

He

1×106

H2

5×104

极限

真空

RV泵,ISO/CF

<5×10-9/<5×10-10 mbar

隔膜泵,ISO/CF

<5×10-8/<5×10-9 mbar

推荐前级泵*

RV5/nXDS6i

放气口/吹扫口

1/8英寸BSP母螺纹

**连续入口压力(轻质气体)?

水冷(水温15°C,环境温度40°C

2×10-2 mbar

空冷(环境温度35°C

1×10-2 mbar

泵转速

标称转速

90000rpm

待机转速

49500~90000rpm可调

(缺省63000 rpm

功率范围

50~120W可调

(缺省80W

90%转速启动时间

110s?

模拟输出

泵转速、功耗、泵温度、控制温度

冷却方式#

空冷/水冷

空冷环境温度

5~35°C

*小水冷流速

15°C的水)

15l/ h

水温范围

10~20°C

入口法兰**温度

100°C

工作姿态

垂直、水平

噪声(1m处)

<50dB(A)

**耐受磁场

5mT

推荐控制器

TIC100涡轮仪表控制器

稳态功耗

10W

*根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1

? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。

? 功率为80 W

#空冷和水冷却附件须单独订购。

订货信息

货号

描述

B72241000

EXT75DX分子泵DN63ISO-K入口法兰

B72242000

EXT75DX分子泵DN63CF入口法兰

B72243000

EXT75DX分子泵DN40NW入口法兰

B72245000

EXT75DX分子泵DN100 ISOK入口法兰

B72246000

EXT75DX分子泵DN100 ISOK入口法兰(DN25NW前级泵接口)

B72235000

EXT75iDX分子泵DN40NW入口法兰

B72237000

EXT75iDX分子泵DN63ISO-K入口法兰

B72238000

EXT75iDX分子泵DN63ISO-K入口法兰(DN25NW前级泵接口)

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Edwards EXT75DX涡轮分子泵

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