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Edwards nEXT240D涡轮分子泵

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产品介绍

概述

nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/snEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为**性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,*终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V48V直流无传感器电机,内置驱动,与EdwardsTAGTIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W160W两种**预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。

基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAGTIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

性能特点

  • **的转子设计,可以实现**的抽速和压缩比

  • 维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸

  • 设计紧凑,性能**,可以实现高效系统化

  • Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器

  • 符合RoHS,并通过CSA/UL认可

技术指标

入口法兰

DN100ISO-KDN100CF

出口法兰

KF25

N2

240l/s

He

230l/s

H2

165l/s

N2

>1×1011

He

3×105

H2

1×104

极限真空(ISO/CFRV前级泵)

<6×10-8/<5×10-10 mbar

推荐前级泵*

RV12/nXDS10i

放气口

1/8英寸BSP母螺纹

吹扫口

1/8英寸BSP母螺纹

**连续入口流量(氮气)?

水冷(水温15°C,环境温度40°C

45sccm

空冷(环境温度35°C

30sccm

泵转速

标称转速

60000rpm

待机转速

33000~60000rpm可调

(缺省42000 rpm

功率范围

50~200W可调

(缺省160W

90%转速启动时间

115s?

模拟输出

泵转速、功耗、泵温度、控制温度

冷却方式#

空冷/水冷

空冷环境温度

5~35°C

*小水冷流速

15°C的水)

15l/ h

水温范围

10~20°C

入口法兰**温度

75°C

工作姿态

垂直、水平(±2°)

噪声(1m处)

<45dB(A)

**耐受磁场

5mT

推荐控制器

TIC200涡轮仪表控制器

稳态功耗

20W

*根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1

? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。

? 功率为160 W

#空冷和水冷却附件须单独订购。

订货信息

货号

描述

B81200100

nEXT240D涡轮分子泵ISO100 入口法兰

B81200200

nEXT240D涡轮分子泵CF100 入口法兰

B81200101

nEXT240D涡轮分子泵ISO100 入口法兰,80W

B81200201

nEXT240D涡轮分子泵CF100 入口法兰,80W

D39722000

TIC涡轮仪表控制器:200WRS232

B58053175

nEXT径向风扇

B58053170

nEXT径向风扇,带泵驱动接

B80000815

nEXT 水冷

B80000812

油滤筒工具

B80000805

轴承和油滤筒工具

B80000811

油滤筒

B80000810

轴承和油滤筒

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Edwards nEXT240D涡轮分子泵

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