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晶圆兆声单面刷洗甩干机

晶圆兆声单面刷洗甩干机

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声达半导体设备(江苏)有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

江苏声达

型号:

晶圆兆声单面刷洗甩干机

关注度:

265

产品介绍

适用工件:

(Applicable parts)

6寸/8寸蓝宝石或碳化硅

6"/8“Sapphire or SiC Wafer

批量产能:
(Capacity)

60s/pcs

工艺流程:

(Procedure Flow)

上料→ 晶圆定位→旋转刷洗及二流体喷洗(硅面)→翻转180度→旋转刷洗、兆声波喷洗(碳面)→旋转甩干→下料
Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation,
brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation,
Spin-Drying→Unload
主要材料:
(Major Material)
金属骨架+PP瓷白壳板
Metal Frame+PP white board
运送方式:
(Transportation)
通过洁净机械手进行晶圆传输
Wafer transported by clean robotic hand

工艺效果:

(Process effect)

a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a;

b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a。

PS:inspection machine is for Candela or SICA


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