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TEBO兆声波清洗设备

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盛美半导体设备(上海)股份有限公司

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产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

盛美半导体

型号:

TEBO兆声波清洗设备

关注度:

564

产品介绍

TEBO----用于先进器件的清洗技术

主要优势

智能兆声波技术

使用便捷

精确控制

减少成本、保护环境


特性和规格

*多可配至12套清洗腔体, 产能可达375 片/小时

具有双面清洗能力, *多可配至5种清洗药液,工艺灵活

*多可以回收2种药液

使用高温IPA干燥技术

配备TEBO智能兆声波组件

集成式药液供给模块,可供给DHF,SC1,SC2, 功能水,二氧化碳水等


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