主要优势

高速电镀铜同时实现更好的均匀化控制

水平式电镀腔体，无交叉污染

可单腔体维护，提高设备正常运行时间（up time）

Rubber Seal 技术, 更好的密封性能

第二阳极技术,更好地控制均一性

灵活的工序控制

特性和规格

兼容8寸和12寸

*多可配至3个Load Port

*多可配至4种预湿腔体，真空控制

*多可配至4 个清洗腔体

*多可配至20个电镀腔体: Cu,Sn/Ag, Ni

设备尺寸: 2250 x 7100 x 2900 mm

工艺性能：
片内均一性: <5% (**-*小/2 平均)
片间均一性＜3%
重复性: <3%
COP: < 10 µm