可处理基片尺寸

≤300mm

转速范围

20-5000rpm

转速分辨率

1rpm

加速度可调范围

20-10000rpm/s

单步时长

≤3000s

均匀性数据

4寸晶圆  片内： ±0.58%  片间： ±0.20%  膜厚： 1470nm 胶液： AZ1500(20CP)

6寸晶圆  片内： ±0.72%  片间： ±0.89%  膜厚： 1320nm 胶液： AZ1500(20CP)

8寸晶圆  片内： ±0.60%  片间： ± 1.32%  膜厚： 2260nm 胶液： AZ1500(20CP)

12寸晶圆 片内： ± 1.10%  片间： ±0.68%  膜厚： 490nm  胶液： AZ1500(4.4CP)