基本规格

Excel 662

量测行程

X650xY680xZ250mm

X，Y轴精度

U=3.0+L/200mm (L=量测距离)

Z轴精度

U=3.0+L/200mm (L=量测距离)

光学尺分辨率

0.1μm

移动速度

500mm/s

X，Y轴加速度

1000mm/s2

Z轴加速度

500mm/s2

床台材质

花岗石

光学镜头/倍率范围

12:1 Programmable Zoom/～14x-400x

承载重量

100公斤

外观尺寸

长1311宽1604高1788毫米

机台重量

1350公斤

环境要求

温度20±2°C，湿度30-80%

电源需求

93-264VAC， 47-63Hz， 10Amp max.