INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计， 在苛刻的生产环境中

具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点， 如一键调零功能和设点

调整. 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有**的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的

长使用寿命. 独特的传感器屏蔽 (**技术) 保护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字

电子学加强了EMC 兼容性， 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D 真空计为从电源接通后的快速

稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.

优点

■ 全刻度范围从 100 毫乇… 1000 乇

■ 电源接通后快速稳定

■ 暴露大气压后快速恢复

■ 抗腐蚀性陶瓷传感器

■ **的长期讯号稳定性

■ 温度补偿

■ 保护传感器防止污染

■ 一键调零功能

■ 宽范围电源

■ 两个设点

■ RS232接口

■ 符合清洁室条件

用途

在要求高的应用中用于精确和快速的压强测量:

■ 用于刻蚀， CVD， PVD， ALD 等半导体制造设备

■ 数据贮存和显示器制造设备

■ 工业真空设备

■ 一般高精度压强测量