适用于各种材质的非接触3D测量

紧凑，快速，精确至纳米级 VIKING

桌面式3D轮廓测量仪VIKING 测量范围

VIKING是个体型小和低重量的光学3D轮廓测量仪，非常适合VIKING系统提供150毫米 x 150 毫米的平面测量范围。根据

放置在一般的桌台上。不同应用，它可以配备光谱共焦点传感器或激光三角线传感

器。根据每个单独配置，VIKING高度精度能达到10纳米内。简单的设置与操作

另外，可以选择用于获取和处理数据的不同选项，其中包括

基于***的创新传感器技术，VIKING量测系统可以快速操作简单的编程程序以实现重复性测量。

生成三维表面形貌。此外，直观和易于操作的系统软件是

VIKING测量系统的另一个关键特点:新的操作员只需花费较

短的时间来理解系统，并可以在短时间内执行更多的测量。

一旦建立并保存后，测量和数据分析过程可以在任何时候重

复执行。

典型应用

?轮廓?三维面粗糙度?厚度?体积

?几何尺寸?直线度?截面面积?二维线粗糙度

?磨损?平面度?面积

每个应用，除了参数结果数据，也提供了光学表面测量图和不同的分析图。

轮廓和面平面度直线

ISO 12781 ISO 12780

Flatness Parameters Straightness parameters

FLTt28，2 μmPeak-to-valley flatness deviation of the surface STRt8，19 μmPeak-to-valley straightness deviation

FLTp13，3 μmPeak-to-reference flatness deviation STRp3，32 μmPeak-to-reference straightness deviation

FLTv 14，9 μmReference-to-valley flatness deviation STRv 4，87 μmReference-to-valley straightness deviation

FLTq5，98 μmRoot-mean-square flatness deviation STRq2，33 μmRoot-mean-square straightness deviation

Parameters Value Unit

Area 1，95 mm2

Volume 21526324 μm3

Max height 26，6 μm

二维线粗糙度三维线粗糙度

ISO 4287 ISO 25178

Amplitude parameters - Roughness profile Parameters table - S-L-Surface

Context MeanStd dev Min Max Height Parameters

RaμmGaussian filter， 0.8 mm 0，329 0，00839 0，318 0，356 Sa1，53 μmArithmetic mean height

RqμmGaussian filter， 0.8 mm 0，407 0，0108 0，395 0，442 Sq1，99 μmRoot-mean-square height

RpμmGaussian filter， 0.8 mm 1，09 0，0289 1，04 1，16 Feature Parameters

Rv μmGaussian filter， 0.8 mm 1，13 0，0555 1，04 1，23 S5p 5，63 μmpruning = 5% Five point peak height

RzμmGaussian filter， 0.8 mm 2，21 0，07 2，11 2，39 S5v 10，1 μmpruning = 5% Five point pit height

RtμmGaussian filter， 0.8 mm 2，54 0，112 2，34 2，78 S10z 15，7 μmpruning = 5% Ten point height

SOLARIUSGLOBAL.COMVIKING 3

技术参数 VIKING

光谱共焦传感器:

光学探头¹⁾0，2 mm 1 mm 4 mm 12 mm

应用距离，厚度

测量范围200 μm1 mm 4 mm 12 mm

工作距离4.7 mm 15.7 mm 36.7 mm 29 mm

光斑直径3.4 μm5 μm8 μm14 μm

横向分辨率1.7 μm2.5 μm4 μm7 μm

纵向分辨率8 nm 40 nm 160 nm 180 nm

线性度150 nm 400 nm 1.6 μm-

测量角度范围90 °± 45 °90 °± 28 °90 °± 20 °90 °± 14 °

测量厚度范围²⁾up to 0.3 mm up to 1.5 mm up to 6 mm up to 16 mm

频率up to 4，000 Hz 2，000 Hz

光源LED

¹⁾ 更多型号我们

²⁾ 折射 n=1.5

激光三角传感器:

传感器5 mm 20 mm 40 mm 60 mm 80 mm

测量范围Z5.9 mm 20 mm 40 mm 60 mm 80 mm

工作距离38 mm 53 mm 50 mm 53 mm 60 mm

分辨率3.9 μm13.3 μm26.6 μm40 μm53 μm

测量范围（X）-中间4.5 mm 12 mm 24 mm 35 mm 48 mm

测量范围（X）-开始3.9 mm 10 mm 20 mm 30 mm 40 mm

测量范围（X）-结束5 mm 13 mm 27 mm 40 mm 55 mm

频率200 Hz / 350 Hz (X分辨率减低)

线性< 0.06 % of FS （整个量程范围）

光源激光波长 658 nm， 激光器等级 2M

系统配置:

设置桌台式

横向测量距离/行程范围150 mm x 150 mm

平台平面度± 5 μm

负载容量*重 10 公斤

垂直行程范围25 mm

尺寸[宽 x 深 x 高]475 mm x 450 mm x 434 mm

重量29 公斤

供应电压100-240 V， 50-60 Hz

文件格式SUR， TXT， CSV

电脑台式电脑包含显示器

软件SolarScanNT， SolarMap

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