机械耦合传感器习惯上被用来测量振动。尽管如此，一般、持续的朝着小型化的趋势，正提出对测量系统全新的要求，

该系统需通过宽的频率范围且以纳米分辨率来测量物体的移动。激光干涉振动计用于对宏观和微观物体的非接触，

无反应测量，频率在0-2MHz，分辨率在纳米范围内。这些系统很适合于需要分析难以达到的物体振动的应用程序。

LSV激光干涉振动计系列

激光干涉振动计的设计是建立在迈克耳孙干涉仪的基础之上的，在它里面，一束相干光纤分离成两个

部分的光束：参考光束和测量光束。参考光束有固定的长度。测量光束集中在测量的表面，它的长度由

于测量物体的移动而改变。测量光束从被测量物体上反射出以后，两个返回的局部光束相互干涉。它们

的相位差与测量物体的位移是相称的，且测量也是可变的。这个测量可以追溯到国际长度标准，因为激光频率充当直线标度。

优化的光学粗糙表面

激光干涉仪振动计是为测量光学粗糙表面优化了的干涉仪。他们区别于其它长度测量干涉仪的*重要的特征，是它们在测量方位上有一个集中在测量光束上的镜头。从光学粗糙表面上的反射生成一个散斑图。传感头是设计用来确保一个好的信号噪声比，即使当这样一个散斑图产生的时候。测量光束的聚焦把测量范围限制到几个mm，作为表面反射率的一个功能。

尽管如此，在振动测试中这通常不是个问题，因为测定的振动幅度通常更小。正常的位移测量也可以在有效的测量范围内进行。氦氖激光器被用来当做长度和振动测量的光源，因为它们的特性例如相干性和频率的稳定性，对于度量衡是至关重要的。串联LSV振动计的测量头，通过光纤电缆耦合保持头相当小地或者免于热辐射。传感头中的考面

镜可以调节，以便简化校准和提高性能。LSV系列的新特征是用一个变焦目标来聚焦测量光束，而不是以前传统的

定焦镜。这使得测量头和测量点之间的距离领域自由选择在20cm到2m.这可让测量设置中有相当大的灵活性，因此测试仪器可以用于一系列不同的应用。

电子估算单元的设计

用来处理从测量头接收到的干涉仪信号的氦氖激光器和电子设备被封装在10英寸的估算单元里。信号处理，考面镜和可变输入放大器通过多微机系统和非常快的可编程序逻辑电路来控制。估算单元有一个模块结构，所以测量系统可以通过添加各种各样的信号处理卡灵活适应一个应用程序。两个系列LSV传感头的评估可以封装在一个19英寸的设备中。

数据捕捉可以和外部事项同时进行，这通过极短的延迟时间下利用触发脉冲输入完成。这也使得目标的相位响应在一

个已知的激发下测量。

估算单元可以装备有不同的接口卡以适应预期的目标高速估算卡提供一个USB和一个RS232接口连接到电脑上。还有一个触发输入，外部激发源同步振动测量 。这个估算卡可以用来控制振动计的各种功能，还可以控制**采样频率

1MHz和**数据块长32768值。用该卡进行交流的应用程序接口对用户来说是可行的。A DLL，一个矩阵实验室图书馆

和相应的模块支持整合成独立申请。并行接口卡使得解调的干涉仪信号作为一个数字的平行32位字来利用。 分辨率（字的*低有效位）相当大约0.078nm。平行32位数值在一个很短的潜伏期内有效的，并且可以在扫描速度达4MHz下读出来。这个促进完全可能带宽2MHz的利用。这个情况下，振动分析系统经常提供传感器的模拟输入。模拟接口因此有一个模拟输出，用来整合成这些系统。这使得传统的振动传感器很容易被激光干涉振动计所替代。串联 LSV振动计的动态范围比传统传感器的测量范围要大的多，就像合理支出下模拟分辨率的可实现。映射在模拟输出上的测量范围因而可以在七个阶段选择，以适应不同的应用领域。这个通常用前面板上的旋钮完成，但是范围也可以通过PC界面合适的软件来转换。重置模拟信号的追加输入进一步简化使用，总的来说，模拟接口卡以**输出率10MHz来提供16位分辨率。尽管各种各样的于激光干涉振动计有效的接口可以结合到几乎每个测量系统中，经验证明大多数应用包含PC软件的单独操作。INFAS-Vibro软件通过USB或RS232接口或与高速并行接口振动计连用的DIO卡。软件使得振动信号呈现出来，保存且处理。记录原始信号使得测量无限制地离线分析。ASCII格式化数据的可配置出口使得初始和预加工能进一步加工处理。为融合进独立的应用中，INFAS Vibro可以由一个简单的TCP-IP协议来控制。

无接触机械振动的量测和分析

串联LSV激光干涉振动计可以用在机械振动需要无接触地分析和测量的所有领域。它与其他振动测量方法相比的主要优势是它的非接触和无反应操作方式， 以时间范围内小于1纳米的距离分辨能力的大测量范围，通过FFT增加到频率范围小于80微微米。当然，频率范围从0Hz到电流**2MHz.振动光谱，自然频率和振动模式也可以确

定。多坐标测量和微差测量可以再多系统援助下进行。

串联LSV振动计的特别说明在真空运行时可能的，但是技术上很复杂。尽管如此，经常可以看到目标通过真空室的一个窗户测量，在真空室内通过外置测量头来测量。这使得真空下测量目标变得简单。激光干涉振动计是对于要求精度，物体非接触测量的所有应用都非常宝贵的工具。非接触操作模式在无需传感器机械影响下，提供不同位置快速分析物体的方法。

该系统具有高精度和高分辨率，非常广泛的频率范围等特性。由缩放目标扩大的可变测量范围，评估电子设备的不同接口和综合软件支持，使串联LSV振动计成为生产，质保，研究和发展中一个重要的测量仪器。

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