半导体行业专用仪器-MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪-弗莱贝格仪器（上海）有限公司-产品详情

MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪

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产品介绍

MDPinline ingot系统是世界上*快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命，光电导率，电阻率)都是同时测量的。

该系统包括一个数据库和统计数据评估，可用于自动确定精确的切割位置，以提高成品率。用于材料质量监控，炉选择和工艺改进。

无接触破坏的半导体特性

少数载流子寿命的检测能力

先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化

自动切割标准定义

获取体材料性质的稳态测量

完全自动化的内联集成

对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率

测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面

Automated determination of cut off criteria

先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。
在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。
对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。
Recognition of cracks， chunks etc. Automated cut criteria definition， lifetime map

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