粉体行业在线展览
粉体行业在线展览
Gasboard-2060
直接联系
四方光电（武汉）仪器有限公司
湖北武汉
面议
四方仪器
Gasboard-2060
165
1~264ppm(0~200mTorr)
产品名称：红外气体传感器
产品型号：Gasboard-2060
红外气体传感器产品概述
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
红外气体传感器产品特性
使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成
红外气体传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
激光气体分析仪（防爆型）
LRGA-3200EX
Gasboard-3022Plus
GasTDL-3001
Gasboard-2060
Gasboard-3800UV
LRGA-3100
Gasboard-3000UV
LRGA-6000
Gasboard-3000UV
Gasboard-9031EX
Gasboard-3500
