桌面单点测量▼

低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度在156毫米以下的晶锭。

MDPspot可配电阻率测试选项，常规仅适用于硅，也可用于没有高度调整可能性的晶圆片以及晶锭，不过需对这两个选项之一进行预定义。

MDPspot配备结果可视化的标准软件。

设备特性▼

l 无接触和非破坏的电学参数测试

l 对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的较高分辨率

l 对于不同级别晶圆片，提供不同的菜单选项

产品优势▼

l 用于不同制备阶段，从成体到*终器件，多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。

l 体积小，成本低，使用方便。拥有一个基本的软件，结果可视化。

l 适用于晶圆片到晶锭，易于高度调整。

技术参数▼