仪器简介：

应用：

◆各种材质及薄膜应力分析。

◆ 其他型号：FLX-3300 (适用于12”样片)

技术参数：

Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。

主要特点：

◆双光源扫描（可见光激光源及不可见光激光源），系统可自动选择**匹配之激光源；

◆系统内置升温、降温模拟系统，便于量测不同温度下薄膜的应力，温度调节范围为-65℃至500℃；

◆自带常用材料的弹性系数数据库，并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库，便于新材料的研究实验；

◆形象的软件分析功能，用于不同测量记录之间的比较，且测量记录可导出成Excel等格式的文档；

◆具有薄膜应力3D绘图功能。