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Scribe Model 200-6适用于在6英寸晶圆上分割元件。功能强大的,无振动,操作简单,无需过多培训即可使用。包括数字十字准线的视频集进行垂直定向; LCD屏幕可显示参数,可通过编程轮进行选择。
磨削头
• Z轴运动,可调节角度
•可调节划线力从10gr到250gr,恒重
•金刚石工具:可调节角度和旋转
•刀具偏置,十字准线
•精度:±5μm
晶圆
•晶圆片直径6''
•真空吸附
•框架/环形适配器
•电动夹头旋转
•夹头旋转对准,90度/可编程
•X Y轴/分辨率1μm;精度±5μm
•无振动设计
•通过渐进式操纵杆控制运动
视觉系统
•光学放大倍率,与其他应用兼容
•视野:标准1mm
•TFT显示器17''和CCD彩色高清摄像机
•目标发生器
•LED照明
参数
•步骤指数
•Y划线速度从1到100毫米/秒
•划线长度可编程
•重复划线
•划线数量
•多指数功能
•削减计数器
技术规格
功率:100 / 230VAC ,500watt
气压:70psi
真空:60%
尺寸:650x700x500mm(26''x28''x20'')
重量:70kgr。