长*宽*高

626mm*552mm*380mm

605mm*595mm*632mm

输出功率

1.0kW×2

1.25kW×2

输出频率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

频率误差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供电电压

AC220V±10%

AC220V±10%

供电频率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

进/出水口

1/8宝塔接头

DN15

冷却方式

水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/mi0)

水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min)

控制接口

RS485通信协议

远程通讯功能

工艺气体

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

等离子处理面积

0.19m2

0.15m2