专用设备-实验室溅射镀膜机小型溅射仪-郑州市金水区智研实验室设备经营部-产品详情

实验室溅射镀膜机小型溅射仪

KT-Z1650PVD

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郑州市金水区智研实验室设备经营部

河南郑州

产品规格型号

参考报价：

1-5万元

品牌：

郑科探

型号：

KT-Z1650PVD

关注度：

创新点：

KT-Z1650PVD是一款溅射功率可调的小型磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。且可加装膜厚仪来实时监测镀膜厚度，通过设定电流及时间/厚度来调节溅射速率及薄膜沉积厚度，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明高鹏玻璃减少样品污染，腔体为铝合金一体成型来减少漏率，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，设备自带PID进气阀全程恒定调节镀膜真空。

产品介绍

一：产品参数

产品名称：小型溅射仪

产品型号：KT-Z1650PVD

产品品牌：郑科探 Zhengketan

生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

三：主要技术要求

1：控制方式	7寸人机界面自动模式晶控模式（需配膜厚仪）切换
2：镀膜方式	真空直流磁控溅射镀膜
3：镀膜功能	0-999秒可变换功率及挡板复位和样品旋转自动进气等程序控制
4：**功率	≤500W（电压≤1000V 电流≤500mA)
5: 极限真空	机械泵 ≤1Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa（30分钟）
6：挡板类型	电控
7：镀膜靶材	直径Ф50mm 厚度0.2-2mm
8：镀膜真空	≤5Pa
9：溅射气体	高纯氩气（自动进气/关闭 PID调节设置的真空度）
10：真空腔室	高鹏硅玻璃罩+铝合金腔体样品台Ф160mm×170mm
11：样品台	快速插拔式可旋转φ75 （**可安装φ70样品）
12：样品台转速	0-8转/分钟
13：样品靶材距离	40-70mm（可调节）
14：真空测量	电阻真空（测量范围10E5Pa 1E-1Pa ）
15：预留真空腔室接口	KF40/KF25抽气口 KF16真空计接口Q15放气口 6mm快插进气口可扩展膜厚测量口
16：产品重量	约17KG
可选配扩展（选配）	①机械真空泵抽速8mm3/h（单设备≤1Pa(5分钟）
	②分子泵机组（单设备可抽真空30分钟≤5*10^-3Pa）
	③膜厚仪:(厚度范围0-10000A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率6MHz）
主要配置要求	小型溅射仪 KT-Z1650PVD 主机1台电源线合格证说明书保修卡各一个