一：产品参数

1． 产品名称：真空探针台

2． 产品型号：KT-Z1604T-R/RL

3． 产品品牌：郑科探  Zhengketan

4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

 二：功能要求

KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面**可升温到**400℃。低温-190°C。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－25mm；z方向调节范围：0－25mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

三：主要技术要求

1． 腔体材质：304不锈钢

2． 上盖开启：铰链侧开

3． 加热台材质：304不锈钢

4． 内腔体尺寸：φ160x90mm

5． 观察窗尺寸：Φ70mm

6． 加热台尺寸：φ55×55mm

7． 观察窗热台间距：75mm

8． 加热台温度： -196℃-400℃

9． 加热台温控误差： ±1℃

10． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温10℃/min **值

11． 温度显示：7寸人机界面

12． 真空度： 机械泵≤5Pa   分子泵≤10-3Pa

13． 允许正压： ≤0.01MPa

14． 真空抽气口： KF25真空法兰

15． 气体进气口： 3mm-6mm卡套接头

16． 电学性能： 绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V  漏电流 ≤500fA

17． 探针数量： 4探针（可选购5探针）

18． 探针材质： 镀金钨针

19． 探针尖： 10μm/50μm

20． X轴移动行程： 30mm    ±15mm

21． X轴控制精度：≤0.01mm

22． Y轴移动行程：25mm    ±12.5mm

23． Y轴控制精度：≤0.01mm

24． Z轴移动行程：25mm    ±12.5mm

25． Z轴控制精度：≤0.01mm

四：主要配置

1.   1台真空探针台KT-Z1604T-R/RL

   2 .  1台触摸屏温控箱

   3.  1根电源线

   4.  1根触摸屏笔

   5.  1根 功率输出线

   6. 一套K型上盖扳手、备用螺丝、内六角扳手

 选配：分子泵 机械泵 CCD相机 真空计 气浮台 源表