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化学机械抛光机 TMP-150A

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北京特思迪半导体设备有限公司

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品牌：

北京特思迪

型号：

化学机械抛光机 TMP-150A

关注度：

402

产品介绍

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TMP-150ATMP-200A

晶圆尺寸4/6英寸

抛光盘规格OD406 mm

晶圆气囊压力70-500 g/cm²

保持环压力70-700 g/cm²


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